Các xe tăng hạng siêu nhẹ được thiết kế từ khoảng thập niên 1920 tới đầu thập niên 1940. Một số được nhìn thấy trong thế chiến 2. Tuy nhiên chúng quá yếu trước các xe thiết giáp khác nên hầu như không được dùng trong các trận chiến lớn. Trong chiến tranh lạnh và sau chiến tranh lạnh cũng có một số mẫu tăng siêu nhẹ được thiết kế và sản xuất. Chúng chủ yếu được các lực lượng đặc nhiệm dùng trong các nhiệm vụ đặc biệt.

Trong thế chiến 2, mẫu tăng siêu nhẹ thành công nhất có lẽ là mẫu Carden-Loyd của Anh Quốc. Rất nhiều quốc gia châu Âu đã lấy đây làm nguyên mẫu cho xe tăng siêu nhẹ của họ. Ví dụ như dòng TK của Ba Lan, T-27 của Liên Xô, Tančík vz. 33 của Tiệp Khắc, L3/33 của Ý,...

Trong chiến tranh lạnh, một trong các thiết kế thành công và cũng khá nổi tiếng là của người Liên Xô thập niên 1950. Năm 1949 Liên Xô đã thiết kế và đưa ra mẫu thử nghiệm, sau đó tới năm 1951 họ đã sản xuất hàng loạt và đưa vào sử dụng (biên chế) pháo tự hành đổ bộ đường không ASU-57 (với trọng lượng 3,4 tấn, trang bị pháo diệt tăng 57mm, bọc giáp bằng nhôm dày 6mm). Những chiếc xe này đã được biên chế hơn 10 năm, cho tới khi được thay thế hoàn toàn bởi pháo tự hành đổ bộ đường không ASU-85 (năm 1960 bắt đầu được thay thế). Cũng như các tăng siêu nhẹ khác, các xe ASU-57 rất yếu khi đối đầu với các xe thiết giáp của địch, nhưng chúng lại là mẫu thành công vì chúng đã đem lại cho những người lính dù một lượng hỏa lực pháo binh vô giá, vì họ là những người vốn chỉ được đưa vào phía sau lưng địch với toàn vũ khí cá nhân (như súng trường, tiểu liên, lựu đạn,...).